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蔡司三坐標測量機主機結構主要分為：??

1、框架：是測量機的主體機械結構架子。??

2、標尺系統(tǒng)：是測量機的重要組成部分，是決定儀器精度的一個重要環(huán)節(jié)。蔡司三坐標測量機所用的標尺有光柵尺、感應同步器、磁尺及光波波長等。??

3、三坐標測量機導軌：是測量機實現(xiàn)三維運動的重要部件。測量機多采用滑動導軌、滾動軸承導軌和氣浮導軌，而以氣浮靜壓導軌為主要形式。氣浮導軌由導軌體和氣墊組成，有的導軌體和工作臺合二為一。氣浮導軌還包括氣源、穩(wěn)壓器、過濾器、氣管、分流器等一套氣體裝置。??

4、驅動裝置：是蔡司三坐標測量機的重要運動機構，可實現(xiàn)機動和程序控制伺服運動的功能。在測量機上一般采用的驅動裝置有滾動輪、鋼絲、齒形帶、齒輪齒條、光軸滾動輪等傳動，并配以伺服馬達驅動。直線馬達驅動正在增多。??

5、平衡部件：主要用于Z軸框架結構中。它的功能是平衡Z軸的重量，以使Z軸上下運動時無偏得干擾，使檢測時Z向測力穩(wěn)定。??

6、轉臺與附件：轉臺是測量機的重要元件，它使測量機增加一個轉動運動的自由度，便于某些種類零件的測量。