換一組
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)主要由：主機(jī)，控制系統(tǒng)，探頭系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)組成。以下主要介紹蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的控制系統(tǒng)。
控制柜C99——控制技術(shù)的可靠性和最佳的控制運(yùn)作是蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的傳統(tǒng)標(biāo)志：ISC智能掃描控制系統(tǒng)，內(nèi)置矢量控制技術(shù)；探測(cè)力不受任何偏移影響的主動(dòng)掃描；帶散熱裝置的C99控制柜保護(hù)等級(jí)是IP22。蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)采用高機(jī)動(dòng)性伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，各軸皆有電子驅(qū)動(dòng)監(jiān)測(cè)和可靠的防碰撞保護(hù)功能，X和Y軸還附加有沖力限制機(jī)構(gòu)?？刂葡到y(tǒng)本身就是一個(gè)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，具有自診斷功能。高性能的仿樣內(nèi)插（Spline interpolation）使探頭可以精確跟蹤規(guī)定的路徑。先進(jìn)的21項(xiàng)參數(shù)幾何誤差補(bǔ)償。蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的控制系統(tǒng)采用先進(jìn)的多微機(jī)多軸矢量控制系統(tǒng)，該控制系統(tǒng)是目前三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)領(lǐng)域中最先進(jìn)的控制系統(tǒng)。
